詳細摘要： 實驗室滑軌爐PECVD系統(tǒng)設備通過滑動爐體來實現(xiàn)快速的升降溫,配置不同的真空系統(tǒng)來達到理想的真空度；同時通過多路高精度質(zhì)量流量計控制不同氣體。

詳細摘要： 開啟式管式爐PECVD系統(tǒng)由高溫管式爐,真空壓強控制系統(tǒng),多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng),過壓保護及冷凝等部分組成,可實現(xiàn)真空達0.1mbar混合氣體化學氣相...

詳細摘要： 混氣管式PECVD系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)子流量計、射頻電源系統(tǒng)系統(tǒng)組成PECVD設備是借助于光放電等方法產(chǎn)生等離子體,